ООО Соленна

Оборудование для ALD/CVD с лазерной локальной активацией, предназначено для одностадийного осаждения топологического рисунка без применения фотошаблонов и фоторезиста.

Галерея

  • Изображение
    Осаждение платины
  • Изображение
    Осаждение золота
  • Изображение
    Осаждение рения
  • Изображение
    Осаждение иридия
  • Изображение
    Интерференционная нанолитография

    Оборудование для лазерной абляции

    Оборудование для лазерной корректировки топологии тонких и толстых пленок (постоперационная лазерная микрообработка = laser micromachining), в том числе функциональных слоёв ИМС, рисунка фотошаблонов, проводящих и функциональных элементов ГИС. Например: подстройка электрических параметров планарных резисторов, конденсаторов и катушек индуктивности, резонансных частот модуляторов, прошивка сквозных и глухих отверстий и т.п.

    А так же оборудование для резки полупроводниковых пластин.

    Наши партнеры


    • Изображение
      Получатель гранта Техностарт1 2021 от Фонда содействия инновациям
      по теме: “Разработка, изготовление и
      испытания прототипов электронных детекторов сигналов с частотой модуляции не менее
      1 ТГц".

    • Изображение
      Резидент Сколково
    • Изображение
      Резидент инкубатора Академпарка
      Новосибирского Академгородка
    • Изображение
      Кооперация по выполнению НИОКР